1920年，科幻小说中依据Robota（捷克文，原意为劳役）和Robotnik（波兰文，原意为工人），创造出“机器人”这个词。

  1928年，伦敦工程展览会上展出了英国首个人形机器人Eric。其时，可以移动四肢、旋转头部、回应语音的机器人，被誉为“未来科技”。

  1939年，美国纽约世博会上展出了西屋电气公司制作的家用机器人Elektro。它由电缆操控，可以行走，会说77个字，还可以抽烟，不过离真实干家务活还差得远。

  1954年，美国人乔治·德沃尔制作出国际上第一台可程式规划的机器人，并注册了专利。这种机械人能依照不同的程序从事不同的作业，因而具有通用性和灵活性。

  1959年，乔治·德沃尔与另一个美国发明家约瑟夫·英格伯格联手制作出第一台工业机器人。随后,成立了国际上第一家机器人制作工厂——unimation公司。

  1965年，美国约翰·霍普金斯大学使用物理实验室研制出Beast机器人。Beast现已能经过声呐注视、光电管等设备，依据环境校对自己的方位。20世纪60年代中期开端，美国麻省理工学院、斯坦福大学、英国爱丁堡大学等连续成立了机器人实验室。

  1968年，美国斯坦福研讨所发布他们研制成功的机器人Shakey。它带有视觉感测器，能依据人的指令发现并抓取积木,不过操控它的电脑有一个房间那么大。Shakey能算得上是国际第一台智慧型机器人。

  1969年，日本早稻田大学加藤一郎实验室研制出第一台以双脚走路的机器人。加藤一郎长时间致力于研讨仿人机器人，被誉为“仿人机器人之父”。日本专家一贯以研制仿人机器人和文娱机器人的技能见长，后来更进一步催生出国际首台会跑的仿人机器人QRIO等。

  1992年，从麻省理工学院分离出来的波士顿动力公司（已被谷歌收至麾下）相继研制出可以直立行走的军事机器人Atlas，以及四足全地势机器人“大狗”“机器猫”等。

  2002年，丹麦iRobot公司推出了吸尘器机器人Roomba。它能避开妨碍，主动规划行进路线，还能在电量不充足时，主动驶向充电座。

  2006年，微软公司推出MicrosoftRoboticsStudio（微软机器人作业室），机器人模组化、渠道统一化的趋势越来越显着。比尔·盖茨预言，家用机器人很快将席卷全球。

  2012年，美国“发现号”将首台人形机器人送入国际空间站。这位机器宇航员被命名为R2，活动范围接近于人类，并可以像宇航员相同履行一些比较风险的使命。

  2016年，中国科学技能大学发布了我国首台特有体会交互机器人“佳佳”，这代机器人不仅在形象上与真人相似，并且现已开始具有了人机对话了解、面部微表情、口型及躯体动作调配、大范围动态环境自主定位导航和云服务等功能。