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                      TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

                      TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
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                      TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

                      TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

                      產(chǎn)品描述


                      3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
                      TA4030F-01-03_TA系列半導體機器人
                       
                      • ● 采用閉環(huán)伺服控制
                      • ● 可選配免電池絕對式編碼器
                      • ● 可根據(jù)設備布局定制底座和伸展軸行程
                      • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

                      臂長

                      200/260/320/400mm

                        額定/最大負載

                       3kg

                      搬運物

                      ≤Φ300mm晶圓

                      新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

                      關鍵詞:

                      新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

                      規(guī)格參數(shù)

                      新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人


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